تأثير متغيرات التشغيل بالتفريغ الكهربائي على سمك الطبقة المعاد سبكها. DJES [Internet]. 2011 Dec. 1 [cited 2025 May 1];4(2):37-46. Available from: https://www.djes.info/index.php/djes/article/view/583